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一种管式炉外延系统
联系人：汇智科技服务平台
联系方式：010-82648522
应用领域
新能源、节能技术,现代服务业
技术领域
环境保护与资源综合利用,城市建设与社会发展
技术成熟度
已有样品
交易类型
合作开发
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成果详情
本发明提供了一种管式炉外延系统，包括：反应管、混气箱、真空系统以及压强控制系统；其中：所述混气箱的出气口与反应管的进气端密封连接；所述真空系统与反应管的排气端密封连接；所述压强控制系统包括压强控制阀、压强控制电路和压强计，压强控制阀设置于混气箱的出气口上并通过压强控制电路与压强计相连，压强计设置于反应管的排气端，以测量反应管的压强。通过外延控制系统，可以有效的控制进入管式炉的气体的压强，且设备价格低，便于推广。
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