微驱动器用大电致应变陶瓷材料及其关键技术

基于压电效应设计的微驱动器，具有控制精度高、响应速度快、功耗低、小型化等优点，在精密加工、光学仪器、半导体制造、自动化控制等领域有着广泛的应用。当前这一领域所用的压电材料多为锆钛酸铅基陶瓷，随着人类社会的发展，铅基材料有被限制使用的趋势。

中国科学院福建物质结构研究所易志国课题组开发出了一种高性能无铅压电陶瓷，不仅具有环境友好的特点，而且室温下其电致应变高达0.56%，大大超出锆钛酸铅基陶瓷，该材料体系在微驱动器件制造领域具有良好的应用前景。