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先进制造技术
技术成熟度
通过小试
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成果详情
精密电子线路、软件开发、计算机仿真模拟和辅助设计、精密机械加工、高压/高真空环境获得、高温/低温环境获得方面突破 开发出：温度控制器、电阻加热蒸发源、电子束加热蒸发源、精密高增益电流放大器、低噪声高压放大器、石英膜厚检测仪、SPM扫描探头、低温恒温器、超快针尖腐蚀仪、真空系统烘烤控制器。 在此基础上研制成功或正研：变温扫描隧道显微镜系统、原子层积累系统、低温扫描探针显微镜-分子束外延联合系统、高通量连续组分外延薄膜制备及原位局域电子态表征系统等
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