一种工作在软X射线波段的并联平场光栅及其设计方法

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本发明提供一种工作在软X射线波段的并联平场光栅及其设计方法,将两种不同的平场光栅G1和G2做在同一基底上,形成一个整体的并联平场光栅。该光栅工作在掠入射条件下,适用于软X射线波段。根据凹面光栅的像差理论,优化G1和G2的工作参数(入射距离、入射角度、成像位置),使其完全相同,因此二者可以同时工作。并联平场光栅的工作波段是二者之和,可以有效的扩展光栅的工作波段。并联平场光栅解决了平场光栅工作波段较窄的问题,为同时测量软X射线较宽光谱提供了一种有效技术。

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