基于微镜扫描的微悬臂梁阵列生化传感装置及方法

本发明涉及一种微悬臂梁阵列生化传感的装置，其包括反应池、微梁阵列、半导体激光器、偏转微镜、信号发生器、光电位置敏感探测器(PSD)、和数据处理设备。本发明的装置利用偏转微镜驱动，实现了单一汇聚激光束对微梁阵列的扫描探测，可以实现对微梁阵列上生化反应信息的高灵敏度、快速、并行检测，可应用于食品安全、环境污染、生物医学、科学研究和生产制造等领域中的监控和检测。本发明还公开了利用微悬臂梁阵列生化传感装置的生化检测方法。

基于微镜扫描的微悬臂梁阵列生化传感装置及方法

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