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离子束抛光方法
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本发明提供了一种离子束抛光方法。该离子束抛光方法应用的离子束抛光设备包括：工件台、离子束发生器和运动控制系统。其中，工件放置于工件台上，离子束发生器发出形状和大小实时可控的离子束束斑(2)；运动控制系统驱动工件台和/或离子束发生器运动，离子束束斑(2)在工件表面移动，实现对工件的抛光。本发明中，离子束束斑的形状和大小均可控，从而提高了离子束抛光设备的可控性和控制精度。
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