等离子清洗技术在微电子封装中的应用

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应用领域 电子与信息,装备制造 技术领域 先进制造技术,新材料及其应用 技术成熟度 可以量产 交易类型 完全转让,许可转让,技术入股
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成果详情
l 主要技术指标(或参数): 采用等离子体清洗技术可以可以增加材料表面能,减少空隙,有效改善键合区、引线框架的粘结性能,提高封装质量和可靠性。 l 应用领域: 微电子芯片封装(如LED封装)。 l 市场前景: 目前,以集成电路为基础的电子信息产业已成为世界第一大产业。其中,由于半导体光电子技术的进步,LED的发光效率迅速提高,预示着一个新光源时代到来。仅等离子体清洗技术在LED封装工艺中的应用,就具有巨大的市场前景。

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