多靶磁控溅射设备

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应用领域 新材料,装备制造 技术领域 电子信息技术,先进制造技术 技术成熟度 可以量产 交易类型 完全转让,许可转让,技术入股

成果详情

主要特点 ●灵活搭配国内外各种真空系统：德国莱宝、安捷伦、中科科仪等品牌真空泵； ●先进的压力控制系统，波动小、稳定性高； ●结构设计紧凑，重量轻，占地面积小，运输、安装方便； ●可溅射金属、无机物，镀膜精度可达到nm量级。应用领域表面镀膜、新材料制备等领域。

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