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宽带MEMS电化学地震检波器
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成果详情
在国家自然科学基金、院地球物理仪器研制专项、863计划等项目资助下，电子所率先于2009年开展MEMS电化学地震检波器的研究，先后研制出基于叠层电极和平面电极的两种MEMS电化学地震检波器，突破了传感器理论建模与计算、结构设计与仿真、MEMS加工与封装、检测电路、频带补偿电路等一系列关键技术，实现了叠层电极的MEMS电化学地震检波器小批量试生产，开展了地震台站长期监测和野外天然微震对比测试等系列实验。
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