激光掺杂选择性发射极高效晶体硅太阳电池技术

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激光掺杂选择性发射极高效晶体硅太阳电池是选择性发射极(SE)晶体硅太阳电池的一种,是澳大利亚新南威尔士大学(UNSW)开发的PERL高效电池的简化形式。所谓SE太阳电池即在金属栅线(电极)与硅片接触部位进行重掺杂,在电极之间位置进行轻掺杂。这样的结构可降低扩散层复合,由此提高太阳电池的短波响应,并减少前金属电极与硅的接触电阻,使短路电流、开路电压和填充因子都得到较好改善,从而提高转换效率。 PERL电池图片来源:UNSW 激光掺杂是实现SE结构的有效方法。激光具有方向性好、能量集中、非接触性等优点,适合对薄硅片进行加工以节省硅材料。通过控制激光参数,可以在室温环境下进行选择性扩散和掺杂,替代传统的在扩散炉中进行的高温杂质扩散,减少能量消耗。工业化激光掺杂技术能够提供大于2000片/小时的生产效率,完全满足太阳电池的产业化应用。所制备的太阳电池的效率可以超过20%。 本项目可以提供两种具体技术路线:(1)磷硅玻璃激光掺杂结合丝网印刷技术(LDSE+Print)。(2)喷涂磷源激光掺杂结合光诱导化学镀技术(LDSE+LIP)。前者多晶硅效率稳定在17%,单晶硅效率稳定在18.8%;后者多晶效率达到17.2%,单晶硅效率达到19%。

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