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真空用的小型精密工件台系统
联系人：汇智科技服务平台
联系方式：010-82648522
应用领域
电子与信息
技术领域
电子信息技术
技术成熟度
可以量产
交易类型
合作开发
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真空用的小型精密工件台系统采用压电电机驱动，高精度光栅测量系统实现在真空环境下微米级精度的运动控制。
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