微机械陀螺仪

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应用领域 电子与信息 技术领域 电子信息技术 技术成熟度 可以量产 交易类型 合作开发

成果详情

在新品、所创新等项目资助下，中科院电子所开展了电磁激励/磁感应检测、静电激励/电容检测两种振动环式微机械陀螺仪的研制，突破了传感器理论建模、结构设计与优化、MEMS加工、检测电路等关键技术，研制出陀螺仪工程样机，完成监督检测和设计定型，并交付用户试用。

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