PG15-J4型激光平面干涉仪

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应用领域 光机电一体化 技术领域 先进制造技术 技术成熟度 可以量产 交易类型 合作开发

成果详情

用于精密测量光学平面度。技术指标： 1)工作直径D=146毫米 2)第一标准平面不平度小于0.02微米 3)第二标准平面不平度小于0.03微米 4)准直系统：孔径F/2.8，焦距F=400毫米 5)测微目镜：焦距F=16.7毫米 6)视场角2ω=40度，放大倍数β=15X 7)成像物镜D=7，F=16 8)光源规格：激光ZN18(He-Ne)

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