超低/低摩擦类金刚石碳基纳米复合薄膜沉积装备工艺

属国家863项目支持，发展了面向节能减排降耗应用的系列超低/低摩擦类金刚石复合薄膜。
应用领域：节能减排发动机：燃料喷射系统（气门挺杆，柱塞，喷油嘴），动力传动系统（齿轮，轴承，凸轮轴），活塞部件（活塞环，活塞），减少摩擦，延长发动机的使用寿命，使发动机具有更高的功率和更低的燃油消耗，并进一步减少汽车交通对环境的污染。
节能空调、冰箱等用压缩机领域：在压缩机活塞、叶片/滑片、曲轴等关键零部件表面沉积涂层，能够有效降低压缩机摩擦功耗和噪音。
油田装备：可用于油田管道、抽油泵杆等内表面防腐蚀与耐磨损处理。

超低/低摩擦类金刚石碳基纳米复合薄膜沉积装备工艺

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