MEMS器件

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应用领域 电子与信息 技术领域 电子信息技术,先进制造技术 技术成熟度 通过中试 交易类型 完全转让,许可转让,技术入股

成果详情

MEMS即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。

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